众所周知，热退火在工业上制造机械，具体一定的重要性，许多大厂都很在意安全生产这块的，毕竟是一个高温情况下生产产品的区域，今天我们就来说说这方面的相关事宜。
热退火工艺提供了一种用于加工基材的方法，所述方法包括：提供具有表面的基材;提供共聚物组合物，所述共聚物组合物包括：聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分,其中聚(苯乙烯 )-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分的数均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化剂，其中共聚物组合物包含>2wt%的抗氧化剂，基于嵌段共聚物组分的重量 ;施加上述共聚物组合物的薄膜到基材表面;任选地，烘焙上述薄膜;通过在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的气体气氛下加热薄膜1秒钟到4小时来退火上述薄膜;处理上述退火薄膜以从退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和将退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段转换成SiOx。
作为一种新兴的光刻技术越来越受到人们的关注
在定向自组装中的应用：近两年来，嵌段共聚物定向自组装( DSA， Directed Self-Assembly of BlockCopolymer)光刻技术作为一种新兴的光刻技术越来越受到人们的关注。其原理与之前所叙述的几种技术有很大不同，是利用嵌段共聚物在热退火或溶剂退火等条件下分相形成纳米结构，以形成的纳米结构作为模板对衬底进行刻蚀实现图形化的一种技术。
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