经过感应淬火后的工件还要继续进行回火工艺处理，这样做的目的是为了降低它的淬火应力，避免产生淬火裂纹，使工件可以达到所要求的合适的硬度。一般情况下，高频淬火设备感应淬火后的工件需要经过回火工艺大致有三种：自回火、炉内回火、感应回火。
1、自回火，由于工件在进行淬火时，冷却不能进行到底而提前中断，使相邻硬化层的心部的残余热量传递到硬化层，从而使淬硬层再次进行加热，达到一定的回火温度，使工件硬化层得到所要求的的组织和性能。简单来说自回火就是工件利用心部的余热将淬硬层的表面进行加热回火。自回火工艺适合大量生产的厂家，只适用于加热后心部有足够残留热量的工件，并且能够均匀的将残留的热量传递到淬硬层的各个点上。否则的话，工件在自回火后，淬火表面各个区域的硬度是不一致的，而且淬硬的表面和没有淬火的表面交界处的硬度比中心区域部分高，严重一点有的区域就没有进行自回火。
自回火工艺的优点是不仅省去一套回火设备，节能，减少劳动力，还具有及时性，工件在进行高频淬火设备淬火后一般要求及时回火，防止工件因回火不及时产生开裂的效果。
2、炉内回火，这种回火工艺只适用于小工件，或者是油中淬火和浸液淬火的工件。那么为了避免工件在淬火后因为应力太大而产生裂纹，我们通常会对其进行回火工艺处理。回火的温度是根据工件的技术要求决定的，在炉内进行回火处理。
3、感应回火，该工艺是利用原先淬火的感应加热装置降低功率对工件进行回火处理，这种工艺优点是节能，设备体积小，缩短了生产周期，可一次装卸完成淬火回火工序，适用于流水线生产方式。
感应回火工艺比炉内回火工艺更具有广泛性，因为它的加热时间短，生产率高。可以使工件得到比较稳定良好的力学性能。所以工件在进行高频淬火设备淬火后，通常进行自回火或者感应回火。
